三和泰(无锡)半导体专用设备有限公司
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产品详情
槽式湿法刻蚀清洗设备
槽式湿法刻蚀清洗设备的图片
参考报价:
面议
品牌:
三和泰
关注度:
17
样本:
暂无
型号:
槽式湿法刻蚀清洗设备
产地:
江苏
信息完整度:
典型用户:
暂无
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名 称:三和泰(无锡)半导体专用设备有限公司
认 证:工商信息已核实
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产品简介

设备配置说明:

设备类型:Cassette-type & Cassetteless-type,支持SMIF或Foup 晶圆尺寸:150mm, 200mm, 300mm 设备配置:8~12 个槽体, 2~6 个Robot(可定制)                 可搭载先进超声波, 兆声波                 槽体过温保护, 各Module配置漏液传感器                 多级Wafer保护措施                 支持化学液C.C.S.S / L.C.S.S                 自动换酸, 自动补液、配液( 可兼容多种浓度配比                 先进Marangoni干燥                 加热控制, 浓度控制, 流量控制, 压力控制                 化学液/水, 直排&回收 可靠性能:Uptime≥95%           Breakage≤1/10000                  MTBF≥720hours      MTTR≤3 hours        软件控制:PC+PLC+GUI 控制, 支持Schedule、EAP、FDC功能


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